成都鑫南光機械設(shè)備有限公司帶大家一起來看一下成都真空鍍膜機的參數(shù):
一、真空鍍膜機主要用途:
供制備薄膜無源微型元件。
二、主要技術(shù)指標:
1. 蒸發(fā)室極限真空度: 4×10-4Pa
2. 蒸發(fā)室恢復(fù)4×10-3Pa的時間: ≤15min
3. 基片旋轉(zhuǎn)架的轉(zhuǎn)速: 0~60n/min
4. 基片烘烤溫度: 室溫~350℃
5. 蒸發(fā)電極數(shù)量: 3對
6. 蒸發(fā)電極參數(shù): 0~10伏 0~300A
7. 離子轟擊參數(shù): 0~3000伏 0~200mA
8. 鐘罩容積: Φ500×620(mm)
9. 需要動力: 電力 10KW
10. 外形尺寸: 1300×830×1720(mm)
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